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晶硅体太阳能生产车间暖通空调及排风设计

2022-09-23 08:30

一、空调系统及空气处理方式

生产车间的空调系统是产品质量的重要保障,也是厂房的耗能大项。合理的选择空调处理方式既能满足生产的实际需求,又能有效的节省能源,为企业创造利润。

空调系统的空气处理方式一般视厂房的具体位置和总图布局情况而言,可以采取组合式空气处理机组集中处理,也可以采用干盘管进行分散处理。

洁净系统用的新风空调机组(MAU)和循环空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷冻水,加热采用0.2MPa蒸汽,加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿,洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。

1、CP室净化级别为7级,换气次数取为30次/小时,CP室工艺设备用酸量较多,采用全新风空调机组(MAU-3)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-洁净区。

2、ML室净化级别为7级,换气次数取为30次/小时,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。

3、CP/CVD室、LP/CVD室、洁净包装间净化级别为6 级,换气次数取为50次/小时,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

4、7级、6 级的洁净室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风,房间侧下百叶风口回风。其气流流程为:新回风混合!中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。

5、洗净室、品质检查室净化级别为7 级,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+风机过滤器单元(FFU))的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风,房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%,洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求,需在循环机组(AHU)内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为:新回风混合-化学过滤器(NH4+)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元(FFU)-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

6、除CP室外的洁净室所需新风采用2台新风机组(MAU-1、2)集中处理,新风集中处理后送至各循环机组(AHU)。其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-各循环空调机组(AHU)。

7、CP室、ML室、洗净室用酸量相对较多,CP室、ML室内的高效过滤器送风口的扩散板需采用不锈钢板制作,洗净室内的FFU的网板需采用不锈钢板制作。

二、 Cure Furnaces(烧结炉)的排风

Cure Furnaces(烧结炉)的工作温度很高(400℃左右)由于对洁净度要求较高,需要设计独立的排风系统,而且其风管的材质支管(即和设备相连接部分建议采用sus304)外加保温层、主管部分采用镀锌钢板(这样既可以满足生产要求又可以节省投资)。热风直排是最节省初期投资的方法,也最简便易行。

如果从长远来看,此设备的散热量较大,条件允许的情况下,建议采用热回收机组,冬季用于预热新风,可以节省运行费用;缺点是初期投资较高。

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