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各类电子行业净化车间洁净度要求

2019/07/30 10:18
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各类电子工业洁净厂房内所生产的产品及其生产工艺各不相同,它们对生产环境包括空气环境和直接与产品生产过程接触的各类介质都有一定的要求。各类产品的品种不同、生产工艺不同,所要求无尘生产车间的空气洁净度等级也不相同。
 
电子产品的种类繁多,随着微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠的电子产品品种的增加,需要电子净化车间中进行全过程生产或部分生产的电子产品主要有:各种半导体材料及其器件生产、集成电路生产、化合物半导体生产、光电子生产、薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liguid Crystal Display,简称TFT-LCD)生产、微硬盘驱动器(Hard Disk Driver,简称HDD)生产、等离子显示器(Plasma Display Panel,简称PDP)生产、磁头和磁带生产、光导纤维生产、印制电路板等。
 
生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定,下表以供参照(来源:GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范)
 

产品、工序

洁净度等级

控制粒径(μm)

半导体材料

拉单晶

6-8

0.5

切、磨、抛

5-7

0.3-0.5

清洗

4-6

0.3-0.5

外延

4-6

0.3-0.5

芯片制造

氧化、扩散、清洗、

刻蚀、薄膜、离子注入、CMP

2-5

0.1-0.5

光刻

1-5

0.1-0.3

检测

3-6

0.2-0.5

设备区

6-8

0.3-0.5

封装

划片、键合

5-7

0.3-0.5

封装

6-8

0.3-0.5

TFT-LCD

(液晶平板显示器)

阵列板(薄膜、光刻、刻蚀、剥离)

2-5

0.2-0.3

成盒(涂复、摩擦、液晶注入、切割、磨边)

3-6

0.2-0.3

模块

4-6

0.3-0.5

彩膜板

2-5

0.2-0.3

STN-LCD

6-7(局部5级)

0.3-0.5

HDD(硬盘驱动器)

制造区

3-4

0.1-0.3

其他区

6-7

0.3-0.5

PDP(等离子显示屏)

核心区

6-7

0.5

支持区

7-8

0.5

锂电池

干工艺

6-7

0.5

其他区

7-8

0.5

彩色显像管

涂屏、电子枪装配、

荧光粉

6-7

0.5

锥石墨涂覆、荫罩装配

8

0.5

表面处理

5-7

0.5

电子仪器、微型计算机装配

8

(0.5)

高密磁带制造

6-8(局部5级)

(0.5)

印制版的照相、制版、干膜

7-8

(0.5)

光导纤维

预制棒

6-7

0.3-0.5

拉丝

5-7

0.3-0.5

光盘制造

6-8

0.3-0.5

磁头生产

核心区

5

0.3

清洗区

6

0.3

片式陶瓷电容、片式电阻等制造

丝印、流延

8

0.5

声表面波器件制造

镀膜、清洗、划片、封帽

6

0.5

 

 

 

 

 

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